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一种超精表面粗糙度非接触式光干涉测量方法，属测量方法领域。本方法是将被测表面与一半透半反膜形成一夹角，组成一被测系统，用光线射向被测系统，经反射后形成一干涉图象，用摄象头摄取并在显示器上显示，再通过图象采集卡将图象输入到计算机中进行处理，求...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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