下载光学位移检测装置的技术资料

文档序号:2511452

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一种光学编码器,包括主刻度、发光装置和第二部件。主刻度是具有一光栅的第一部件。发光装置向主刻度发射平行光。第二部件检测与主刻度和第二部件之间的相对移动相应的明象和暗象的变化。第二部件包括一玻璃基片和一光接收集成电路片。玻璃基片具有薄膜极。光...
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