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圆光栅角度计量误差校正法制造技术
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文档序号:2511135
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本发明公开了一种圆光栅角度计量误差校正方法,该方法对两个相位相差90°的圆光栅原始输出信号的电平进行逐次分频,取一个信号及其分频后的输出信号作为绝对周期码的各位代码,取与其相位相差90°的另一系列输出信号作为上述各位代码的封闭码,设置误差校...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。
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