下载一种激光扫描直径测量方法及系统的技术资料

文档序号:2510204

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本发明是一种激光扫描直径测量方法及系统,该方法是将激光光源发出的准直激光束通过非对称扫描转镜偏转、形成扫描光束,扫描光束扫描待测工件后,通过接收物镜,由光电接收器接收,通过测量激光束经转镜两反射面扫描待测工件后形成的阴影宽度,通过特定测量方...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。

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