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一种装置包括：容器；将目标引向容器中的交互区域的目标传递系统，该目标包括在处于等离子体状态时发射极紫外光的目标物质；以及量测装置。量测装置包括具有被配置为测量目标物质的通量的测量表面的测量系统和被配置为再生测量系统的再生工具。再生包括：防止...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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