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本发明实施例提供了一种基板载具、基板载具阵列和气相沉积装置及其使用方法，其中，所述基板载具包括：基板载板；第一固定部，设置在所述基板载板的第一表面，用于固定基板；第二固定部，设置在所述基板载板的第二表面，用于固定另一基板，所述第二表面与所述...
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