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该实用新型涉及晶圆清洁装置，能够减小清洁晶圆用的清洗液的用量，降低晶圆的清洗成本。为解决上述技术问题，以下提供了一种晶圆清洁装置，设置有至少两个清洁位，能够同时清洁至少两片晶圆，还包括：至少两个喷淋单元，分别设置到各个所述清洁位，以分别向各...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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