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低比接触电阻率的p型接触层以及氮化镓基紫外激光器制造技术
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文档序号:25000793
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一种低比接触电阻率的p型接触层以及氮化镓基紫外激光器,该p型接触层为重掺杂Mg的p型GaN或p型AlGaN,Mg掺杂浓度为1×10...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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