下载一种中央部分去除的玻璃载板的技术资料

文档序号:24999923

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本发明公开一种中央部分去除的玻璃载板,所述玻璃载板中央部分去除后形成凹面,去除的方法包括腐蚀或减料加工,凹面外侧端形成边缘保护环。所述玻璃载板侧端设置有晶圆,玻璃载板和晶圆之间设置有键合层。本发明在玻璃载板和晶圆之间设置有键合层,玻璃载板和...
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