下载一种具槽形窗孔的玻璃载板的技术资料

文档序号:24999921

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本发明公开一种具槽形窗孔的玻璃载板,玻璃载板侧端设置有晶圆,玻璃载板和晶圆之间设置有粘合剂,玻璃载板和晶圆之间通过粘合剂键合固定连接。玻璃载板和晶圆同心分布,玻璃载板的厚度为200μm~700μm,晶圆的最终厚度为20μm~300μm。玻璃...
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