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本发明提供卡盘顶、检查装置以及卡盘顶的回收方法。能够对应节省空间化并且防止掉落。在对形成于晶圆的多个被检查器件进行检查的检查装置中，卡盘顶保持晶圆，并且在检查时保持于框架且设为相对于对准器能够接近分离，卡盘顶具备：主体；以及防掉落机构，其设...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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