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本发明提供一种等离子体处理装置和环部件的位置偏离测量方法。载置台具有载置治具的第一载置面和载置环部件的第二载置面。获取部获取表示第二载置面与多个治具各自的相对部的间隔大小的间隔信息。测量部在治具分别载置于第一载置面的状态下使环部件上升，在相...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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