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本申请实施例提供了一种半导体设备的检测系统及其检测方法。该检测系统包括：检测装置、检测管路及控制器；检测装置包括多个检测器，多个检测器用于分别检测多种气体的状态；检测管路包括多个支路，任意一检测器均通过多个支路分别与半导体设备的多个待测部件...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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