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本实用新型公开了一种MEMS器件，包括基板、MEMS芯片层和网格膜，所述基板具有第一表面和第二表面，所述基板上形成有贯通的第一通孔；所述MEMS芯片层设置在所述基板的第二表面的一侧；所述网格膜设置在所述基板的第一表面的一侧，所述网格膜在对应...
该专利属于潍坊歌尔微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过潍坊歌尔微电子有限公司授权不得商用。

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