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本实用新型公开了一种用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构，该防尘结构包括网格膜、第一载体和第二载体，所述第一载体具有贯通的第一开口，所述第二载体具有贯通的第二开口；所述第一载体和第二载体分别设置在所述网格膜的两侧，所述网格膜间...
该专利属于潍坊歌尔微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过潍坊歌尔微电子有限公司授权不得商用。

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