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本实用新型提供一种开盖装置及半导体加工设备，用于实现腔室盖与腔体的开合，包括驱动组件和锁定组件，其中，驱动组件与腔室盖连接，用于驱动腔室盖进行升降以实现腔室盖与腔体的开合；锁定组件用于在驱动组件停止驱动时，锁定腔室盖的位置。本实用新型提供的...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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