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文档序号:24950094

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本发明提供一种检查装置,其一边使光入射到形成于被检查体的摄像器件,一边使接触端子与该摄像器件的布线层电接触,来检测该摄像器件,摄像器件是从背面入射光的部件,该背面是与设置有布线层的一侧相反的一侧的面,该检查装置包括:载置台,其能够以与摄像器...
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