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提供用于工件的表面处理的工艺。在一个示例性实施中，方法可包括在工件上进行基于有机自由基的表面处理工艺。基于有机自由基的表面处理工艺可包括在第一腔室中生成一种或多种核素。表面处理工艺可包括将一种或多种烃分子与核素混合以形成混合物。混合物可包括...该专利属于马特森技术有限公司;北京屹唐半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过马特森技术有限公司;北京屹唐半导体科技有限公司授权不得商用。