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于此提供了处理腔室部件及处理腔室部件的制造方法。在一些实施方式中，一种部件部分主体包括具有基底平面和至少一个带纹理的表面区域的部件部分主体，其中至少一个带纹理的表面区域包含多个独立表面特征，多个独立表面特征具有相对于基底平面至少45度角度的...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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