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在本文中描述的实施方式涉及具有冷凝器的高压处理系统和用于利用所述高压处理系统的方法。处理系统包含：处理腔室、锅炉、冷凝器和一个或多个热交换器。所述锅炉产生流体(例如蒸气或超临界流体)，并且将所述流体输送至处理基板所在的处理腔室。在处理基板之...
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