【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于高压处理系统的冷凝器系统背景领域本公开内容的实施方式总体涉及基板处理设备。更特定地，在本文中描述的实施方式涉及用于高压处理系统的冷凝器系统。相关技术的说明常规的基板处理系统通常在处理操作期间在降低的压力的情况下操作。某些处理技术(诸如基板清洁)的最新发展是利用与蒸汽或超临界流体相容的高压环境。然而，常规的设备未经配备而适应与超临界流体处理相关联的独特的压力制度。再者，常规的设备无法容易地改造以适应高压操作环境而没有灾难性的设备故障的不必要风险。因此，本领域需要一种用于高压处理系统的冷凝器系统。
技术实现思路
在一个实施方式中，提供一种基板处理系统。所述系统包含：处理腔室；锅炉，所述锅炉经由第一导管与处理腔室流体连通；和第一阀，所述第一阀设置在位于所述锅炉与所述处理腔室之间的所述第一导管上。冷凝器经由第二导管与所述处理腔室流体连通，并且第二阀设置在位于所述冷凝器与所述处理腔室之间的所述第二导管上。热交换器经由第三导管与所述冷凝器流体连通，并且第三阀设置在所述冷凝器与所述热交换器之间的所述第三导管上...
【技术保护点】
1.一种基板处理系统，包含：/n处理腔室；/n锅炉，所述锅炉经由第一导管与所述处理腔室流体连通；/n第一阀，所述第一阀设置在位于所述锅炉与所述处理腔室之间的所述第一导管上；/n冷凝器，所述冷凝器经由第二导管与所述处理腔室流体连通；/n第二阀，所述第二阀设置在位于所述冷凝器与所述处理腔室之间的所述第二导管上；/n热交换器，所述热交换器经由第三导管与所述冷凝器流体连通；和/n第三阀，所述第三阀设置在位于所述冷凝器与所述热交换器之间的所述第三导管上。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171117 US 62/587,9161.一种基板处理系统，包含：
处理腔室；
锅炉，所述锅炉经由第一导管与所述处理腔室流体连通；
第一阀，所述第一阀设置在位于所述锅炉与所述处理腔室之间的所述第一导管上；
冷凝器，所述冷凝器经由第二导管与所述处理腔室流体连通；
第二阀，所述第二阀设置在位于所述冷凝器与所述处理腔室之间的所述第二导管上；
热交换器，所述热交换器经由第三导管与所述冷凝器流体连通；和
第三阀，所述第三阀设置在位于所述冷凝器与所述热交换器之间的所述第三导管上。
2.如权利要求1所述的系统，其中所述处理腔室是单个基板处理腔室。
3.如权利要求1所述的系统，其中所述处理腔室是分批基板处理腔室。
4.如权利要求1所述的系统，其中所述锅炉与水源、二氧化碳源或氨源中的一个或多个流体连通。
5.如权利要求1所述的系统，进一步包含：
第二热交换器，所述第二热交换器设置在位于所述处理腔室与所述冷凝器之间的所述第二导管上。
6.如权利要求5所述的系统，其中所述第二阀设置在位于所述处理腔室与所述第二热交换器之间的所述第二导管上。
7.如权利要求6所述的系统，其中止回阀在所述第二热交换器与所述第二阀之间设置在所述第二导管上。
8.如权利要求5所述的系统，进一步包含：
第三热交换器，所述第三热交换器设置在从所述第二导管延伸的第四导管上。
9.如权利要求8所述的系统，其中第四阀设置在位于所述第二热交换器与所述第三热交换器之间的所述第四导管上。
10.如权利要求1所述的系统，其中所述冷凝器包含：散热器。
11.如权利要求...
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