下载降低开关损耗的分离栅MOSFET器件及其制造方法的技术资料

文档序号:24943061

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本发明涉及一种降低开关损耗的分离栅MOSFET器件及其制造方法,它包括第一导电类型衬底、第一导电类型外延层、沟槽、第二导电类型体区、第一导电类型源区、绝缘介质层、栅极金属、源极金属、控制栅多晶硅、栅氧化层、分离栅多晶硅、介质隔离腔与漏极金属...
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