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一种X射线传感器及其制造方法，其中X射线传感器包括多个X射线传感器像素单元，每个X射线传感器像素单元包括：至少一个X射线传感器像素单元，每个X射线传感器像素单元包括：本征半导体层，以及分别位于本征半导体层相对的两个表面上的第一类型掺杂层和第...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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