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本发明公开了一种晶圆定位校准装置及晶圆定位校准方法，晶圆定位校准装置包括：承载台、图像采集装置、晶圆传送装置和控制装置，图像采集装置用于采集晶圆位于承载台的实际位置图像；控制装置与图像采集装置和晶圆传送装置相连，控制装置内存储有晶圆位于第一...
该专利属于上海果纳半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海果纳半导体技术有限公司授权不得商用。

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