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本申请提供了一种晶圆传输设备及传输控制方法，第一阀门安装在预载腔室的出入口处；第二阀门安装在反应腔室的出入口处；第一驱动部件及第二驱动部件均安装在机械传输机构上，第一驱动部件用于驱动第一阀门打开或关闭；第二驱动部件用于驱动第二阀门打开或关闭...该专利属于中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司授权不得商用。