温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆匣。所述晶圆匣包括：两相对设置的侧壁，每一所述侧壁上具有多条平行排列的晶圆槽，所述晶圆槽用于承载晶圆；开口，位于两个所述侧壁之间，用于所述晶圆进出所述晶圆匣；所述晶圆槽朝向所述开口的外表面具有标...
该专利属于上海果纳半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海果纳半导体技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。