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本发明提供一种晶圆检测方法，对待测晶圆的多个位置进行检测，得到待测晶圆的检测厚度，而后利用豪斯多夫距离计算检测厚度和基准厚度的相似度，在计算得到相似度之后，利用相似度表征待测晶圆的形貌。这样，不需要通过多个参数表征晶圆的形貌，仅通过相似度一...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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