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本发明公开了一种用于半导体工艺中显影后的硅片检测装置，包括两个平行设置的线扫相机，其内部分别包括感光元件、成像镜头；两个线扫相机的感光元件长轴平行且共线；每个线扫相机的感光元件长轴与其成像镜头的光轴垂直且共面；直线运动平台运动方向与成像镜头...
该专利属于江苏匠岭半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏匠岭半导体有限公司授权不得商用。

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