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本发明提供的半导体设备的控制方法及系统，该方法包括：判断半导体设备中的工艺腔室的工作状态是待机状态还是非待机状态，若为待机状态，向废气处理装置发送第一控制信号，以使废气处理装置以第一功率值对废气进行燃烧处理；若为非待机状态，判断工艺腔室当前...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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