下载谐振子和谐振装置的技术资料

文档序号:24896760

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在并联连接的压电谐振子中,抑制由杂散电容引起的特性降低。具备:基板;绝缘膜,其形成在基板上;多个振动区域,其为形成在绝缘膜上的多个振动区域,且各振动区域具有形成在绝缘膜上的下部电极、形成在下部电极上的压电膜和形成在压电膜上的上部电极,使形成...
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