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一种衬底处理系统包括：衬底处理室；布置在所述衬底处理室中的基座；以及布置在所述基座上的静电卡盘(ESC)。ESC包含由多个印刷电路板层组成的印刷电路板组件(PCBA)，所述印刷电路板层用于安装控制ESC的操作的电路。印刷电路板层中的一个或更...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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