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非易失霍尔传感器及其制造方法、测试方法技术
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文档序号:24892077
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本发明公开了一种非易失霍尔传感器及其制造方法、测试方法,所述非易失霍尔传感器包括:半导体衬底,所述半导体衬底包括源区、漏区以及设置在所述源区和所述漏区之间的沟道区;设置在所述沟道区上的第一绝缘层;设置在所述第一绝缘层上的阻变材料层,所述阻变...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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