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半导体器件制造技术
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文档序号:24892003
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半导体器件包括:有源区,其在衬底上在第一方向上延伸;沟道层,其位于有源区上并竖直地间隔开;栅极结构,其与有源区和沟道层交叉,栅极结构在第二方向上延伸并围绕沟道层;以及源/漏区,其位于栅极结构的一侧的有源区上,源/漏区接触沟道层,源/漏区包括...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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