下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:24891910

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一种半导体结构包含多个叠层、多个有源柱状元件、以及一绝缘材料。这些叠层通过多个沟道彼此分离。这些有源柱状元件设置在沟道中,且在这些沟道的每一者中彼此分离。有源柱状元件分别在其二侧包括二个n型重掺杂部分。n型重掺杂部分分别在一实质上垂直的方向...
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