下载喷水加工装置和喷水加工方法的技术资料

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提供喷水加工装置和喷水加工方法,能够抑制因水汽的附着而导致的加工精度的降低。喷水加工装置(1)具有:卡盘工作台(10),其包含对被加工物(200)进行保持的保持面(11);加工液喷射喷嘴(30),其具有向卡盘工作台(10)所保持的被加工物(...
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