下载用于半导体器件的结构和方法的技术资料

文档序号:24891827

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本发明提供了一种半导体器件及其形成方法。该半导体器件包括:衬底,具有源极/漏极区域以及位于源极/漏极区域之间的沟道区域;栅极结构,位于衬底上方并邻近沟道区域;源极/漏极接触件,位于源极/漏极区域上方并且电连接至源极/漏极区域;以及位于所述源...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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