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本发明公开一种金属纳米结构及其制作方法、电子器件、电子设备，涉及纳米结构制作技术领域，以有效地解决常规图案化工艺不适用于金属纳米结构制作的问题。金属纳米结构的制作方法包括，提供衬底；在衬底上形成图案化纳米结构；在图案化纳米结构背离衬底的表面...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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