下载晶片的加工方法的技术资料

文档序号:24891743

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

提供晶片的加工方法,能够抑制碎片附着于器件。晶片的加工方法具有如下的步骤:保护膜包覆步骤(ST1),利用保护膜包覆晶片的层叠体;第1激光加工步骤(ST3),向间隔道的宽度方向的两端照射激光束,从而在间隔道形成两条激光加工槽;第2激光加工步骤...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。