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晶片的加工方法技术
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文档序号:24891743
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提供晶片的加工方法,能够抑制碎片附着于器件。晶片的加工方法具有如下的步骤:保护膜包覆步骤(ST1),利用保护膜包覆晶片的层叠体;第1激光加工步骤(ST3),向间隔道的宽度方向的两端照射激光束,从而在间隔道形成两条激光加工槽;第2激光加工步骤...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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