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本发明提供的冷却装置、等离子体产生装置及反应腔室，包括第一冷却环、第二冷却环和设置在二者之间的冷却套筒，第一冷却环中设置有用于输送冷却介质的第一通道，第二冷却环中设置有用于输送冷却介质的第二通道，并且，在冷却套筒中设置有第三通道，第三通道将...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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