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本发明公开了一种PE‑CVD反应器喷淋板的加热系统，包括：沿反应器上盖板的周向均布的喷淋板模块，所述喷淋板模块包括喷淋板本体、喷淋板上方绝缘板、喷淋板侧面绝缘筒和喷淋板电加热组件，所述喷淋板本体中的喷淋板基板的上表面沿其周向均布有多个深孔，...
该专利属于沈阳拓荆科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳拓荆科技有限公司授权不得商用。

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