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一种ＳＯＧ结构微热管，其特征在于ＳＯＧ结构微热管的组成包括硅片衬底、覆盖片和玻璃丝三个主要部分构成，硅片衬底上设置有沟槽，沟槽中放置平直的玻璃丝，覆盖片通过刻蚀形成一个与各条沟槽空腔连通的蒸汽腔，硅片衬底和覆盖片通过静电键合结合在一起，硅片...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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