【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种新型硅基微型多槽道平板热管散热器，具体地说是一种用玻璃丝作为辅 助吸液芯的SOG结构微热管的制作。(二)
技术介绍
传统冷却技术，如风扇结合热沉的强制对流制冷、半导体热电制冷，因为受到传热能力 或加工成本等因素的制约，己无法满足现今集成电路的散热需求。热管技术是一种无需外部 驱动，仅靠自身吸热作为动力进行散热的技术。已经在大尺度散热方面有着广泛成熟的应用， 随着MEMS工艺及微细加工技术的发展进步，微热管(Micro heat pipe, MHP)冷却技术成 为最有吸引力的集成电路和电子芯片散热技术之一。相对于其它冷却技术，微热管具有无须 外界驱动力，体积小、重量轻、传热效率高、无噪声、均热效果好、能够消除热结、宽温度 工作范围等优点，应用领域十分广泛。从Cotter首先提出了微型热管的概念以后，由于其良好的性能和广阔的应用前景，微型 热管得到了很大的发展。最初，人们着重于对单根微热管的研究，如图1所示。但单根微型 热管结构中，饱和蒸汽流以及液态工质流共用同一个流动通道，而通道微小空间内饱和蒸汽 的流动速度很高，于是在汽一液界面上液体和蒸汽存...
【技术保护点】
一种ＳＯＧ结构微热管，其特征在于ＳＯＧ结构微热管的组成包括硅片衬底、覆盖片和玻璃丝三个主要部分构成，硅片衬底上设置有沟槽，沟槽中放置平直的玻璃丝，覆盖片通过刻蚀形成一个与各条沟槽空腔连通的蒸汽腔，硅片衬底和覆盖片通过静电键合结合在一起，硅片衬底的一角设置有一个由激光打出的圆孔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓为，霍明学，王超，王喜莲，徐磊，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：93
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。