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本发明的电气检查方法具备如下步骤：准备晶圆(100)，该晶圆构成有互相相对的第1镜部与第2镜部之间的距离通过静电力而变化的多个法布里‑帕罗干涉滤光器部；及检查多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的电气特性。...
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