下载半导体器件以及用于制造此类半导体器件的方法的技术资料

文档序号:24803340

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

公开了一种半导体器件,包括:半导体衬底,其包括在源极区与漏极区之间的沟道区;布置成与该沟道区相互作用的栅极结构;以及布置在该沟道区与该栅极结构之间的介电结构。介电结构包括高k介电层或高k铁电层以及与该高k介电层或该高k铁电层直接接触的至少一...
该专利属于IMEC非营利协会所有,仅供学习研究参考,未经过IMEC非营利协会授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。