下载包括电容器的半导体器件的技术资料

文档序号:24803099

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一种半导体器件包括:在衬底上的一个或更多个开关;第一电极,连接到所述一个或更多个开关并且具有限定螺旋槽的螺旋形状;与第一电极接触的支撑件;在第一电极的一部分和支撑件之间延伸的螺旋槽;与第一电极接触的电容器电介质层;以及与电容器电介质层接触的...
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