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包括电容器的半导体器件制造技术
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下载包括电容器的半导体器件的技术资料
文档序号:24803099
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一种半导体器件包括:在衬底上的一个或更多个开关;第一电极,连接到所述一个或更多个开关并且具有限定螺旋槽的螺旋形状;与第一电极接触的支撑件;在第一电极的一部分和支撑件之间延伸的螺旋槽;与第一电极接触的电容器电介质层;以及与电容器电介质层接触的...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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