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本发明提供一种能够适当地进行基板表面的蚀刻处理的基板处理装置和基板处理方法。所述基板处理装置具有：保持部，其保持基板；处理液供给部，其对被保持部保持着的所述基板供给处理液；以及电阻值变更机构，其能够变更与所述基板接触的所述保持部的电阻。...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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