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本发明涉及一种衬底处理装置及衬底搬送方法。在第1ID块(2)上设有载置台(13)，在第2ID块(4)上设有载置台(47)。以往，仅在第1ID块(2)上设有载具载置台。因此，在去路及返路这两个路径中，在第1ID块(2)与IF块(6)之间搬送衬...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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