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本发明提供一种纳米图形快速固化装置，包括腔体，在腔体内设有旋转夹持机构和微波耦合匹配器，旋转夹持机构包括载片台和旋转电机，旋转电机与载片台以机械方式相连接，进而能够驱使载片台围绕旋转电机的旋转轴转动；微波耦合匹配器通过微波传输导线与微波功率...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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