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本发明提供一种微纳结构固化方法，所述方法包括，将经显影后具有微纳图形结构的晶圆放置于去离子水的溶液中，用去离子水置换出晶圆上的显影液；将置换完成的晶圆放置在微波干燥腔室内的载片台上，开启真空吸附装置以便将晶圆固定在载片台上；启动微波功率源，...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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