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本发明涉及一种EUVL扫描仪(10)。该EUVL扫描仪包括：EUV光源(110)；掩膜版(120)；安装在掩膜版(120)的前面并包括EUV透射膜(132)的薄膜(130)，在使用中，该透射膜将透射光散射成具有主轴(114)的椭圆散射图案(...
该专利属于IMEC非营利协会;鲁汶天主教大学所有，仅供学习研究参考，未经过IMEC非营利协会;鲁汶天主教大学授权不得商用。

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